史欽泰教授1968年畢業於國立臺灣大學電機工程學系，其後取得美國史丹福大學管理科學碩士及普林斯頓大學電機博士學位。1974-1976年任美國Burroughs公司資深工程師，返國後任職1976-1989年任工研院電子所工程師、經理、廠長、所長，1989-1994年任工研院副院長、1994-2003年任工研院院長、1995-2009年擔任美西玉山科技協會理事長、1998-2004年及2008年至今任行政院科技顧問、1997-2009任財團法人亞太智慧財產權發展基金會董事長、1998-2000年任中國工程師學會理事長、1996-2000年任臺灣半導體協會會長、1995-2000年臺灣區電機電子工業同業公會常務理事、1995-2000年任中華民國科技管理學會理事長、1993-1995年任中國電機工程學會會長等職務。
史教授對高科技產業之發展貢獻卓著，1979年獲頒中國工程師學會傑出年輕工程師獎、1989年獲頒美國中國工程師學會獎章、1992年榮膺IEEE院士、1995年獲頒中華民國科技管理學會院士及中國工程師學會工程獎章、2003年獲頒經濟部一等經濟獎章、2003年獲頒交通大學榮譽博士及清華大學名譽博士、2007中華民國斐陶斐榮譽學會傑出成就獎、2008 Outstanding High-Tech Leadership Award/ ILF(International Leadership Foundation) 、2009 中國廈門大學名譽教授等多項榮譽，技術領導及科技管理能力倍受肯定。
1994年至2003年九月史教授擔任工研院院長任內，以其豐富的科技管理及研發經驗，致力於我國產業科技的提升。先後協助成立了「聯華電子」、「臺灣光罩」、「臺灣積體電路製造」及「世界先進半導體」等衍生公司，建立我國積體電路產業體系；積極培訓科技人才，為我國科技產業扎穩根基；並推動如奈米、生醫與知識服務業等新興領域的發展。在我國積體電路產業發展歷程中，史博士扮演著辛勤耕耘者角色。
此外，史教授博士擔任電機電子工業同業公會常務理、監事多年，由於對產業公會的投入、奉獻，使他深入瞭解產業公會在各行業中扮演著重要角色。因此，史教授擔任起居中協調的任務，熱心搭起一座橋，努力加強工研院與產業公會、學會的關係，不僅替三方創立起良好的溝通管道及互動關係，也對提升我國電機電子產業水準產生莫大助益。
2004年史教授接受清華大學延攬，擔任科技管理學院院長，在科管教育上注入豐沛的資源及發展契機，鼓勵產學合作、推動與哈佛大學管理學院合作撰寫臺灣卓越企業個案、設立全國第一個服務科學研究所，培養優秀管理人才。2009年擔任資訊工業策進會董事長，2010年任全球玉山科技協會理事長，現任行政院科技顧問，繼續為我國產業轉型升級努力，傑出表現實為後進典範。